著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
板橋 一光,半導体配線用超微細金線の製造技術と諸特性,バウンダリー : 材料開発ジャーナル,09162402,横浜 : コンパス社,2003-07,19,7,8-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854805070738304,