著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 今津 良幸,クリーンルームの利用,油圧と空気圧,02866900,東京 : 日本油空圧学会,1991-03,22,2,p109-116,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854805514190208,