著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 麻蒔 立男,真空技術を支える機器と材料の最新動向,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2005-09,44,9,18-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854805575597824,