著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
西村 靖彦 and 坂田 篤 and 東 博純,縮小露光リソグラフ用レーザープラズマ軟X線光源装置の開発,表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan,03885321,東京 : 日本表面科学会,1999-03,20,3,173-179,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854805641318912,