著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山内 庄一 and 服部 佳晋 and 山口 仁,Electrical Properties of Super Junction p-n Diodes Fabricated by Trench Filling,Denso technical review,13424114,刈谷 : デンソー,2003-05,8,1,82-86,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854806186434432,