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原田 賢吾,小型デジタルマスフローコントローラ形F4Hの紹介 : FA市場の装置組込み向け気体流量制御,計測技術,03859886,東京 : 日本工業出版,2017-01,45,2,84-88,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854806236496384,