真空統合型PVD+CVD成膜装置の開発 : コンバイナー方式HUD用Al-SiO-NbO系耐湿多層反射膜への適用
書誌事項
- タイトル別名
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- シンクウ トウゴウガタ PVD+CVDセイマク ソウチ ノ カイハツ : コンバイナー ホウシキ HUDヨウ Al-SiO-NbOケイ タイシツ タソウ ハンシャマク エ ノ テキヨウ
- 特集 SDGs
- トクシュウ SDGs
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収録刊行物
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- 芝浦機械技報 = Shibaura Machine engineering review
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芝浦機械技報 = Shibaura Machine engineering review 28 13-16, 2021-12
座間 : 芝浦機械 = Shibaura Machine