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深田 和宏 and 福山 聡 and 難波 武志 and 栗原 義明 and 末木 凜太郎,真空統合型PVD+CVD成膜装置の開発 : コンバイナー方式HUD用Al-SiO-NbO系耐湿多層反射膜への適用,芝浦機械技報 = Shibaura Machine engineering review,24367605,座間 : 芝浦機械 = Shibaura Machine,2021-12,28,,13-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854806271748480,