著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
和田木 哲哉,半導体製造装置市場 2023年の見通し,SEAJ journal : 会報,13420224,東京 : 日本半導体製造装置協会,2023-05,,181,4-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520859470312856448,