著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
太田 貴之,大電力パルススパッタリングを用いた硬質炭素薄膜の高速成膜技術の開発,名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University,13448099,名古屋 : 名城大学総合研究所,2022,,27,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520859757872924160,