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湯之上 隆,半導体装置メーカーが競争力を向上させる方法 : 半導体の微細化は2035年まで続く,Probo : advantest technical report = プロボー : アドバンテスト・テクニカル・レポート,,東京 : アドバンテストProbo編集室,2023,,60,4-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520859912476140288,