著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小野 貴晃,磁気軸受式ターボ分子ポンプ,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2023-11,89,11,804-807,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520861151112840192,