著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
原 浩之 and 召田 雅実 and 相田 彩花,高抵抗低TCRCr-Si系薄膜の開発,東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review,13463039,周南 : 東ソー,2023,67,104,69-71,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520862010972144768,