著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,「先端半導体にはEUV露光装置」に待った キヤノンのナノインプリントの実力,日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation,03851680,東京 : 日経BP,2024-03,,1261,68-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520862312519716736,