著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
東口 武史,CO₂レーザとEUVリソグラフィ光源,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2024-04,90,4,334-336,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520863241218059264,