著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鈴木 正康 and 猿渡 哲也,表面波プラズマCVD装置の開発,島津評論,0371005X,京都 : 島津評論編集部 ; 1940-,2005,62,1・2,15-26,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136278467242752,