著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,"特集 次世代リソグラフィ,注目の技術",Optronics : 光技術コーディネートジャーナル,02869659,東京 : オプトロニクス社,2010-12,29,12,60-99,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136279975908736,