Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
宮野 公樹,MEMSおよびマイクロ部品への応用,マテリアルインテグレーション = Materials integration,13447858,京都 : ティー・アイ・シィー,2010-08,23,8,29-36,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280053079808,