著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 江刺 正喜 and 田中 秀治,"進展するMEMS技術 : 集積化,パッケージング,オープンコラボレーション等",ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌,13413961,東京 : テクノタイムズ社,2013-02,19,2,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280224455296,