著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 上野 滋 and 神田 雄一,超精密加工技術に関する研究(概要),技研所報,0289243X,東久留米 : 機械振興協会技術研究所,1987-10,23,1,p20-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280461534848,