著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐竹 司,半導体ドライプロセスを支援するHORIBAグループの製品と技術,Readout : Horiba technical reports,09159916,京都 : 堀場製作所,2004-03,,28,4-7,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280503180672,