著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
秋田 栄一 and 外山 和夫,全自動ウェハプローバ--AF-6000,安藤技報,03856852,東京 : 安藤電気,1985-09,,65,p16-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280519796608,