Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 山下 吉雄 and 河津 隆治,リフトオフ用Deep UVレジスト「LMR」,沖電気研究開発,0286892X,東京 : 沖電気工業沖時報編集委員会,1986-01,53,1,p87-90,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280577687168,