著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 南川 丈夫 and 大久保 章 and 稲場 肇 and 岩田 哲郎 and 安井 武史,光コムを用いた分光エリプソメトリー法,光アライアンス,0917026X,東京 : 日本工業出版,2018-05,29,5,53-58,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280613856512,