著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,特集 ナノテクノロジーと微細加工技術,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2009-02,48,2,57-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280719454848,