著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 内田 喜之,半導体複合デバイス技術の現状と展望,富士時報 = Fuji electric journal,03673332,東京 : 富士電機技術開発本部 ; [1935]-2012,1989-11,62,11,p717-720,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280792219776,