著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,特集 SEMICON West 2007,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2007-07,,160,86-91,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136280805792640,