Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
浦井 紀久,超純水製造装置,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2000-11,[39],-,130-135,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521136281081771136,