著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) アイシン精機株式会社,製品紹介 多段分離型ドライポンプ,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,2000-05,43,5,572-575,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417753490717440,