Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 渡辺 正浩 and 中田 俊彦,ナノ立体形状の定量計測 : 探針補正技術と高感度光干渉変位センサー,日立評論,03675874,東京 : 日立評論社,2012-02,94,2,204-207,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417754688769792,