著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 小川 倉一,気相薄膜形成技術--応用編(第3回)プラスチック基板へのガスバリア膜の形成技術と要求性能,コンバーテック,09112316,東京 : 加工技術研究会,2006-04,34,4,34-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417754919267072,