著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
髙野 裕,光MEMSスキャナのダイナミック平面度計測 : 振動中の光MEMSスキャナのミラー平面度計測,光アライアンス,0917026X,東京 : 日本工業出版,2017-01,28,1,1-3,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417754922150272,