著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,小特集 シリコン深掘り加工技術,Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空,18822398,東京 : 日本真空協会,2010-07,53,7,429-453,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755126514432,