著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 石井 仁 and 森村 浩季 and 小舘 淳一,ユビキタスサービスに向けたMEMSデバイス技術,NTT技術ジャーナル,09152318,東京 : 電気通信協会,2007-07,19,7,8-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755413437568,