著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大門 直史 and 山岸 壮吉 and 野崎 征彦,半導体工場における薬品の有効活用と再資源化,Ultra clean technology,09170367,東京 : 半導体基盤技術研究会,1999-08,11,4,235-238,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755497724928,