Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
水品 陽一 and 上野 三郎 and 堀之内 新,磁気浮上式ウエハ搬送装置「リムライナー3000」,神鋼電機技報,09140727,東京 : 神鋼電機 ; 1987-1998,1987-03,32,1,p30-32,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755574169216,