著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,SPD法による化合物半導体薄膜の形成,機能材料,02864835,東京 : シーエムシー出版,2000-03,20,3,5-27,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755643720832,