著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
津金 賢,ITRSロードマップから見た半導体クリーンルームの動向,空気清浄 : コンタミネーションコントロール,00235032,東京 : 日本空気清浄協会,2011,49,2,3-7,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417755650557952,