著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 國枝 洋尚 and 天野 辰次 and 宮田 康史,"赤外線カメラ,センサーへの応用が期待される HIPIMSスパッタの特徴と反射防止膜の成膜",Material stage,13463926,東京 : 技術情報協会,2019-04,19,1,24-26,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521417756049626496,