著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
横川 直明 and 北野 尚武 and 池本 学,RS-CVDによる大面積基板へのSi02成膜,アネルバ技報,13422979,府中 (東京都) : アネルバ,2001,8,,23-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699228429046144,