著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 上野 真吾 and 中村 健一,薄型1U 3kWスパッタ用電源 GEXUS-3,オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal,18833861,東京 : オリジン電気,2008-10,,71,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699229706761984,