著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
柴田 薫 and 萩尾 剛 and 吉田 久良,複合ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタ法によるB-N-C薄膜の作製,九州工業技術試験所報告,03859436,鳥栖 : 通商産業省工業技術院九州工業技術試験所,1992-03,,48,p3005-3012,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230066714240,