著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 井平 誠,FM規格(FM 4910)認定クリーンルーム用材料,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2001-08,40,8,22-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230193995776,