著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
先名 康治 and 大野 恒夫 and 松本 智,シリコンの熱酸化に対する2次元解析,電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan,03736113,東京 : 電子通信学会,1986-09,69,9,p1096-1103,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230434420224,