著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
服部 肇,回折光干渉を利用した表面パターンの計測,名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute,03693333,名古屋 : 名古屋市工業研究所,1981,,63,p17-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230530766720,