著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 八重樫 英民,ダブルパターニング技術による微細化の可能性,Optronics : 光技術コーディネートジャーナル,02869659,東京 : オプトロニクス社,2010-12,29,12,64-68,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230762990976,