著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,小特集 半導体ドライプロセスにおける地球温暖化対策,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,2003-09,46,9,659-691,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230815805440,