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細川 俊介 and 一村 信吾,〔工業技術院電子技術総合研究所〕研究設備紹介-19-オゾンビーム発生装置,電子技術総合研究所彙報,03669092,つくば : 電子技術総合研究所,1991-03,55,3,p395-401,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230881377024,