Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
藤田 隆 and 倉富 直行 and 前羽 良保,CMP(化学機械的研磨)技術の開発,住友金属,0371411X,東京 : 住友金属工業,1997-07,49,3,14-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521699230911274368,