著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
天沢 敬生 and 鳥居 博典 and 廣野 滋,固体ソース電子磁気共鳴(ECR)プラズマを用いたLED用インジウムスズ酸化膜(ITO)成膜装置,三井造船技報 = Mitsui Zosen technical review,00266825,東京 : 三井造船技術開発本部,2011-07,,203,50-57,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980704973656320,